FFKM is een hoogwaardig afdichtingsmateriaal. De uitstekende prestaties hebben ervoor gezorgd dat de toepassing ervan is doorgedrongen tot het gehele productiesysteem van halfgeleiderproducten. FFKM-afdichtingsringen zijn een van de belangrijkste verbruiksartikelen die nodig zijn voor de productie van geïntegreerde schakelingen.
de structuur en prestatiekenmerken van FFKM
FFKM wordt gecopolymeriseerd door tetrafluorethyleen (TFE), perfluoralkylvinylether (PAVE) als hoofdmonomeren en een kleine hoeveelheid uithardingspuntmonomeer (CSM). Zoals weergegeven in de onderstaande afbeelding, zijn alle koolstofatomen in het polymeer. De waterstofatomen op het rubber zijn allemaal vervangen door fluoratomen, waardoor het een rubber is dat helemaal geen CH-bindingen bevat.
Belangrijkste prestatiekenmerken van FFKM:
1) Fysieke eigenschappen
De dichtheid van FFKM is 1,9-2,0g/cm³. De mechanische eigenschappen bij normale temperaturen liggen dicht bij die van vinylideenfluoride (VDF)-gebaseerd fluorrubber (FKM), maar de mechanische eigenschappen bij hoge temperaturen zijn beter dan die van fluorrubber.
2) Chemische bestendigheid
Er bevinden zich geen waterstofatomen in de FFKM-molecuulketen en de CC-bindingen zijn in principe omgeven door een schil die bestaat uit F-atomen. Dit kenmerkt zich door een sterke chemische inertheid en maakt het polymeer aanzienlijk resistent tegen chemicaliën.
3) Hoge en lage temperatuurbestendigheid
De bedrijfstemperatuur van FFKM is over het algemeen 260~290 graden, en kan met tussenpozen worden gebruikt bij hoge temperaturen van 316 graden. Omdat een groot aantal -OCF3-groepen in de vertakkingsketens van de moleculen worden geïntroduceerd, wordt de flexibiliteit van de moleculen verbeterd en wordt de lagetemperatuurbestendigheid van het rubber verbeterd.
4) Plasmaresistentie
In een plasma-omgeving vertoont het producteigenschappen van hoge reinheid en lage neerslag, en kan het langdurig plasmabombardement weerstaan.
fFKM's toepassingen in halfgeleiders
Bij de productie van halfgeleiders is de betrouwbaarheid van elastomere afdichtingen van cruciaal belang, omdat productiestops om afdichtingen te vervangen extreem kostbaar zijn. Om mogelijke risico's te vermijden, zijn de eisen voor de reinheid en zuiverheid van afdichtingen zeer streng. Tegelijkertijd moeten de afdichtingen langdurig kunnen werken in de drukomgeving van hoge temperaturen, hoog vacuüm en corrosieve chemische gassen.
Op het gebied van halfgeleidertoepassingen richt FFKM zich voornamelijk op:
1) Gasafdichting: In het halfgeleiderproductieproces zijn de verwerking en het transport van verschillende gassen essentieel. FFKM O-ringen worden gebruikt voor het afdichten van gasleidingen, kleppen en verbindingen om ervoor te zorgen dat er geen gas lekt en om de processtabiliteit te behouden.
2) Etsen en reinigen: Ets- en reinigingsstappen in halfgeleiderprocessen omvatten vaak het gebruik van corrosieve media zoals sterke zuren of alkaliën. FFKM O-ringen worden veel gebruikt in apparatuuronderdelen die in contact komen met deze media, zoals etskamers, reinigingstanks, enz. vanwege hun uitstekende corrosiebestendigheid.
3) Transport van vloeistoffen en chemicaliën: Bij de productie van halfgeleiders moeten verschillende vloeistoffen en chemicaliën worden getransporteerd, zoals oplossingen, oplosmiddelen, reinigingsvloeistoffen, enz. De FFKM O-ring kan worden gebruikt om apparatuurcomponenten zoals leidingen, kleppen en pompen af te dichten om de veilige levering van media te garanderen.
4) Hoge temperatuuromgeving: Bepaalde stappen in het halfgeleiderproces moeten worden uitgevoerd in een omgeving met hoge temperaturen, zoals warmtebehandeling, gloeien, enz. FFKM O-ringen hebben een uitstekende hoge temperatuurbestendigheid en kunnen hun elasticiteit en afdichtingseigenschappen behouden bij hoge temperaturen.
5) Ultrapuur waterbehandeling: Bij de productie van halfgeleiders wordt ultrapuur water gebruikt om apparatuur en materialen te reinigen en zuiveren. FFKM O-ringen worden veel gebruikt om ultrapuur waterbehandelingsapparatuur af te dichten om te voorkomen dat onzuiverheden en verontreinigingen binnendringen.
Vanwege de hoge kosten van FFKM-rubbergrondstoffen zijn de werkomstandigheden waarin FFKM-afdichtingen gewoonlijk worden gebruikt extreem zwaar. Onder deze zware werkomstandigheden zijn andere rubbers gevoelig voor corrosie, zwelling, oplossen, veroudering en verharding, enz., wat resulteert in afdichtingsfalen en daarom niet kan voldoen aan de afdichtingsvereisten. Vanwege de uitstekende corrosiebestendigheid en hoge temperatuurbestendigheid kan FFKM-rubber niet alleen voldoen aan de afdichtingsvereisten van zware werkomstandigheden, maar ook de levensduur van afdichtingen verlengen en de onderhoudskosten van klanten verlagen.
